一、技术参数：

1、处理气量：            5~500Nm3/h

2、纯化后氩气纯度        99.9995%

   纯氩技术要求应符合下表的规定符合：GB/T4842-2006

装置特点：  

1.  净化则采用了世界先进的净化材料。其特点有吸附深度好，吸收杂质气体量大的特点，纯度可达99.9999%以上。
2.  并安装了小于0.1μ的金属过滤器。保证了气体粉末的要求。

  本装置的阀门采用国内外专业阀门公司的优质产品，保证了产品的高纯度无渗透及安全可靠性。
4.  设备中全部容器、管道、阀门均为不锈钢材质。
5.  设备中全部选用我公司跟踪国际先进水平而研制的净化材料，具有净化深度好、安全可靠、可反复再生的特点。
6.  设备中的主要控制仪表全部采用国内外先进产品。
7.  接头采用先进的高纯接头,保证了无渗透。
8.  外观设计采用国际流行颜色及形式,使产品更美观。

高纯氩气主要用途：用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。 氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。

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