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11 15 2021

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J

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来源:[伯东企业(上海)有限公司]
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地址:上海上海市浦东新区上海市外高桥保税区希雅路33号17号楼B座3层,200131
品牌:hakuto
价格:2000000.00 元/
供应地:上海上海市
产品型号:Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J

上海伯东日本原装进口适合大规模量产使用的 Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J, 无论使用什么材料都可以用来加工.

Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 配置使用美国 KRI Φ20cm 考夫曼离子源, 蚀刻均匀性: ±5%, 刻蚀速率: 20 nm/min, 样品台: 直接冷却(水冷), 0~90度旋转, 因此射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等加工形状.



Hakuto 离子蚀刻机主要优点:

1. 干式制程的微细加工装置, 使得在薄膜磁头, 半导体元件, MR sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用.

2. 物理蚀刻的特性, 无论使用什么材料都可以用来加工, 所以各种领域都可以被广泛应用.

3. 配置使用美国考夫曼离子源

4. 射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等等加工形状.

5. 基板直接加装在直接冷却装置上, 所以可以在低温环境下蚀刻.

6. 配置公转自转传输机构, 使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面.

7. 机台设计使用自动化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生产过程.


Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J技术参数

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片
Φ5 inch X 10片
Φ6 inch X 8片

样品台

直接冷却,水冷

离子源

Φ20cm 考夫曼离子源


Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-J 通氩气 Ar 不同材料的蚀刻速率:

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