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KRI 考夫曼离子源 KDC 75
KRI 考夫曼离子源 KDC 75 技术参数
型号
KDC 75 / KDC 75L(低电流输出)
供电
DC magnetic confinement
- 阴极灯丝
2
- 阳极电压
0-100V DC
电子束
OptiBeam?
- 栅极
专用, 自对准
-栅极直径
7.5 cm
中和器
灯丝
电源控制
KSC 1212 或 KSC 1202
配置
-
- 阴极中和器
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
- 安装
移动或快速法兰
- 高度
7.9'
- 直径
5.5'
- 离子束
聚焦
-加工材料
金属
-工艺气体
惰性
-安装距离
6-24”
- 自动控制
控制4种气体
* 可选: 一个阴极灯丝; 可调角度的支架
上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 75:紧凑栅极离子源,离子束直径 14 cm ,可安装在 8“CF法兰. 适用于中小型腔内, 考夫曼离子源 KDC 75 包含2个阴极灯丝, 其中一个作为备用,KDC 75 提供紧密聚焦的电子束特别适合溅射镀膜. 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 250 mA.
平行
散设
电介质
半导体
活性
混合
KRI 考夫曼离子源 KDC 75 应用领域
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
客户案例: 超高真空离子刻蚀机 IBE, 真空度 5E-10 torr, 系统配置
美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75
11
15
2021
上海伯东考夫曼离子源 RF 射频离子源 进口射频离子源
来源:[伯东企业（上海）有限公司]
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品牌：KRI
价格：面议
元/台
供应地：上海上海市
产品型号：
