射汽式抽气器由工作喷嘴、混合室和扩压管三部分组成。工作蒸汽经过喷嘴时热降很大，流速增高，喷嘴出口的高速蒸汽流，使混合室的压力低于凝汽器的压力，因此凝汽器里的空气就被吸进混合室里。吸入的空气和蒸汽混合在一起进入扩压管，在扩压管中流速逐渐降低，而压力逐渐升高。

对于一个二级的主抽气器，蒸汽经过一级冷却室冷凝成水，空气再由第二级射汽抽气器抽出。其工作过程与首级完全一样，只是在第二级射汽抽气器的扩压管里，蒸汽和空气的混合气体压力升高到比大气压力略高一点，经过冷却器把蒸汽凝结成水，空气排到大气里。

中国真空设备制造行业近年来无论是规模、品种还是技术水平都已取得了长足的进步,但整个行业与国外同行业相比,还仍然存在较大差距。

主要表现在：一是企业规模仍然偏小,全国散布着数百家生产企业,其中有很大部分都是在以往国有企业中分散出来的家族式或朋友之间股份合作式小微企业,整体实力偏弱；二是大部分企业研发投入少,没有设立真正的研发部门,基本处于接单—设计—生产的简单模式,导致在产品创新等方面远远落后于国外同行,产品同质化现象严重,高端产品市场基本被国外同行垄断。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：     

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止造成污染，适合用干式真空泵；

用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。