各类真空泵适用的工艺类型

分子泵。适用于真空镀膜、集成电路、表面物理、表面化学、等离子体物理、光学仪器、热核反应和宇航技术工作中使用。

水喷射泵。适合于真空导料、真空输送、轻工、化工、化纤、制药、涂料、油脂、造纸、制糖、食品、制砖和真空除氧等工艺领域中使用。

水蒸气喷射泵。适合于真空冶烧、真空脱气、真空蒸发、真空干燥和真空回潮等工艺中使用。

低温泵。适合于真空镀膜、表面物理、超导技术和宇航技术等工作中使用。

■ 抗热冲击性能好、膨胀率适应性好：

示例：不同热膨胀将铝密封件与不锈钢法兰组合的最l高允许温度限制在 150°C 左右。经常在过高温度之后，在冷却过程中发生密封效果恶化的情况。

■ 耐腐蚀性、耐化学性：

示例：很多真空镀膜过程需要化学性质活泼的过程气体。因此，有必要考虑所使用的液体是否会影响到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金属波纹管，容易受到腐蚀。如有必要，应该在测试中确定其使用寿命。对于特殊的应用，可能可能还会对材料有更多要求。

一般的规则是：所需工作压力越低，对材料的要求越高，可使用的材料选择性越小。因此，特别在HV（超高真空）技术中，材料的选择非常重要。

清洁表面、低杂质气体含量、易脱气：

清洁表面是先决条件。但是，任何暴露于环境空气中的表面都会覆盖上一层吸附层。以化学或物理形式将分子吸附在材料表面或材料间隙内的气体分子，一旦解吸（当在它们从表面分离时）也是气体来源的一部分。要实现高的极限压力，必须使用具有低解吸率的材料。示例：单层吸附气体约等于 4 · 10 -2 Pa · m 3 /m 2 的气量。设想一根直径为50 cm，长度为 100 cm 的管子，两端封闭（表面积大约为2 m 2 ，体积大约为 200 l），单层释放导致压力上升大约0.4 Pa 或 4 · 10 -3 hPa。这并没有考虑管道的表面积总是大于其几何面积这一实际情况。