各类真空泵适用的工艺类型

油增压泵。适用于真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空热处理等工艺中使用。它与机械增压泵相类似，不能直排大气，必须用旋片泵或滑阀泵等作为前级泵。

油扩散泵。适用于真空镀膜、真空热处理、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、电子真空器件、真空分析仪器、真空检漏仪、宇宙空间真空模拟装置、加l速器真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空使用，本身不能直排大气，必须配备前级真空泵。

干泵（包括螺杆泵、涡旋泵、和爪形泵）。适用于无油清洁的真空工艺过程，例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用，这几种泵都能直排大气。

真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最l佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：

确定工作真空范围

首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。

油封机械真空泵（包括滑阀泵、旋片泵、定片泵）。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵（如普旭真空泵），做为直排大气的前级泵，使用的量大面广。

罗茨真空泵（机械增压泵）。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。