{精}的传动方式

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最l大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。

油封机械真空泵（包括滑阀泵、旋片泵、定片泵）。适用与真空蒸馏、真空干燥、真空浸渍、真空烧结、真空绝热、真空钎焊、真空镀膜、真空热处理等工艺中使用。当前，旋片式油封机械真空泵（如普旭真空泵），做为直排大气的前级泵，使用的量大面广。

罗茨真空泵（机械增压泵）。适用于真空烧结、真空钎焊、真空浸渍、真空干燥、真空镀膜、真空输送、真空冶炼等工艺中使用。绝大多数罗茨泵都不能直排大气，需要配合旋片泵或滑阀泵作为前级泵使用。湿式罗茨泵可以直排大气，主要用于造纸工业中。

油增压泵。适用于真空冶炼、真空烧结、真空钎焊、真空热处理等工艺中使用。它与机械增压泵相类似，不能直排大气，必须用旋片泵或滑阀泵等作为前级泵。

油扩散泵。适用于真空镀膜、真空热处理、真空热处理、真空冶炼、真空提纯、电子真空器件、真空分析仪器、真空检漏仪、宇宙空间真空模拟装置、加l速器真空系统等工艺中使用。它适合于抽取高真空使用，本身不能直排大气，必须配备前级真空泵。

干泵（包括螺杆泵、涡旋泵、和爪形泵）。适用于无油清洁的真空工艺过程，例如半导体行业、电子行业、化工行业等各种工艺使用，这几种泵都能直排大气。