沈阳诺思真空技术有限公司严格按照ISO9001质量认证体系运行，并拥有健全的售后服务体系，坚持为用户提供优质的产品和服务。多年来我们同全国各高等院校及科研院所密切合作，共同开发研制出了一批高技术装备。

面对多品种、小批量的生产特点和设备利用率偏低的客观事实，真空设备制造企业应在采用更科学的生产组织形式的基础上，加强设备综合管理及日常维修保养，在采用设备状态监测、故障诊断等技术的基础上，坚持以状态维修为主的维修方式，努力缩短停修时间，提高设备利用率。

低温泵

低温泵是利用低温表面冷凝气体的真空泵，又称冷凝泵。低温泵是获得清洁真空的极限压力低、抽气速率大的真空泵，广泛应用于半导体和集成电路的研究和生产，以及分子束研究、真空镀膜设备、真空表面分析仪器、离子注入机和空间模拟装置等方面。

抽气原理

在低温泵内设有由液氦或制冷机冷却到极低温度的冷板。它使气体凝结，并保持凝结物的蒸汽压力低于泵的极限压力，从而达到抽气作用。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。

 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。