罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

　　罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

预防性维护与预见性维护的区别

(1)预防性维护

预防性维护是为防止设备可能的失效而进行的有计划的维护活动，以保持设备正常的能力。

(2)预见性维护

预见性维护是通过对过程监视、设备监视等所得到的数据，预见可能将会发生的设备失效模式而进行的维护活动。

2、预防性维护

设备维护保养的主要内容是:清洁、检查、润滑、紧固、调整、防腐、整齐、安全。

设备的保养工作依据其工作量大小、难易程度、可划分为三级:日常保养(例行保养)、一级保养和二级保养。一级保养和二级保养属于定期保养(注:在某些书中，将日常保养称为一级保养，以此类推为二级保养、三级保养)。

对预防性保养，要做好保养计划，保养计划分为年度保养计划、月度保养计划，必要时还要做好周保养计划。

因为预防性保养的项目与内容是固定的，所以保养计划中可以不列出保养项目及内容。

(1)日常保养

日常保养每天由操作者进行。日常保养的内容多为表面性保养。

日常保养一般包括以下内容:

1)检查，包括班前、班中、下班时的检查，比如对下列内容进行检查:

①检查皮带是否松动。

②检查制动开关是否正常。

③检查安全防护装置是否完整。

④检查易于引起故障和发生故障的部位、机构和机件。

2)紧固。比如检查易松动的螺钉并上紧。

3)润滑。依规定添加润滑油。

4)清洁。清扫、擦拭设备。

5)其他。如对气动设备每日定时排水，下班时放气。

为了做好对设备的日常维护保养，有必要编制设备日常维护保养规程。

(2)一级保养

以操作工人为主，维修工人配合指导(也可由维修工人进行，操作工人配合)。一级保养是一项计划性维护保养工作，保养的内容有一定的技术性，但不多。保养的主要内容包括检查、调整、更换、修复，如下：

1)按计划对设备进行局部和重点部位的拆卸、检查，彻底清除油污，疏通油路。

2)清洗或更换油毡、油线、过滤器等。

3)检查磨损情况，调整各部件配合间隙，紧固各部位。

4)清扫、检查电器箱、电动机，做到电器装置固定整齐，安全防护装置牢靠(可由维修电工负责)。

5)清洗附件及冷却装置，等等。

一级保养完成后应做好记录并注明尚未清除的缺陷，要进行验收。

保养周期视设备具体情况而定(设备一般每运行500小时要进行一次一级保养)。

(3)二级保养

二级保养以维修工人为主，操作工人配合协助(也可完全由维修工人进行)。

二级保养内容技术性要求高，保养内容如下：

1)对设备进行部分解体检查和修理。

2)对各主轴箱、变速传动箱、液压箱、冷却箱进行清洗并换油。

3)修复或更换易损件，部分刮研。

4)检修电器箱，修整线路，清洗电动机。

5)检查、调整、修复精度，校正水平。等等。

二级保养完成后，应详细填写检修记录，要进行验收。

二级保养要保证主要精度达到工艺要求，个别精度难以恢复时，延至下次大修。二级保养的周期视设备具体情况而定(设备一般每运转2500小时要进行一次二级保养)。

二级保养可以看做是定期修理。

设备大修是工作量的一种计划修理。大修需将设备全部解体，检查、修复或更换全部磨损零部件，校正和调整整个设备系统，恢复设备的原有精度、性能、生产率，以及外观(外表重新喷漆等)。设备的大修可结合设备的技术改造来进行。

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

　　3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。