真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。真空度单位通常用托（Torr）为单位，国际上取用帕（Pa）作为单位。1托=1/760大气压=1毫米汞柱
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边沿，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中往，负气体压强忽然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a），下转子从泵进口封进v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到90°位置时（图中c），下转子封进的气体，连同返冲的气体一起排向泵外。这时，上转子也从泵进口封进v0体积的气体。当转子继续转到135°时（图中d），上转子封进的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。