1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

　液环真空泵在汽蚀状态下长时间工作，会造成泵的噪声、振动变大，甚至对泵造成损坏，因此应尽量避免液环真空泵在汽蚀状态下工作，可通过以下方法：

1、 降低工作液的温度

在液环真空泵工作点为固定值的前提下，降低工作液的温度可以达到防止汽蚀的效果。

2、 使真空泵运行在安全区域，提高选型的准确性

这要求在选型阶段，选择液环真空泵吸入压力及工作液温度时尽量避开液环泵容易发生汽蚀的压力范围。

3、 安装汽蚀保护管路或单向阀

汽蚀过程中产生的气泡在压缩过程中破裂时，从外部引入压力较高的不凝气体能够及时补充因气泡破裂而出现的空间，这样可以大大减轻汽蚀对泵的损害及降低汽蚀引起的噪声和振动。

2BV、2BE1设有汽蚀保护接口。在泵发生汽蚀现象时，从泵排气侧的汽蚀保护接口充入不凝气体即可消除汽蚀噪声，并大大减轻汽蚀对泵的损害。

4、 配大气喷射器

如液环真空泵吸气口配有大气喷射器，则液环泵不易发生汽蚀现象。

5、 采用具有更低的饱和蒸汽压的液体作为工作液。

6、 泵的叶轮、圆盘采用防汽蚀能力较强的材质。

小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。