1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。

2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。

3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。

择真空泵机组需要考虑的问题：   当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，真空泵有哪些品牌，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求。
由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。