真空泵常用性能参数详注

1．抽气速率(体积流率)(s单位：m3·min-1、m3·s-1、L·s-1)

当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体体积。

2．极限压力（极限真空）（单位：Pa/MPa/mmHg）

泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能达到的稳定的压力。

3．起动压力

泵无损坏起动并有抽气作用的压力

4．前级压力

排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

5．前级压力

超过了能使泵损坏的前级压力。

6．工作压力

对应抽气量的入口压力。在此压力下，泵能连续工作而不恶化或损坏·

7．抽气量（Q单位：Pa·m3·S-1；Pa·L·S-1）

流经泵入口的气体流量。

8．压缩比

泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

工作原理  首先设定真空系统的上下限值（比如上限值设定为-0.08MPa，下限值设定为-0.06MPa），启动系统后，其中一台真空泵开始工作，直到真空罐内真空度达到上限值-0.08MPa，此时真空泵自动停止运行，真空罐内真空由自动逆止阀自动截止，如因工作需求真空罐内真空度降至低于下限值-0.06MPa时，另一台真空泵自动启动，直到真空罐内真空度抽到上限值-0.08MPa为止。如此循环反复自行运动，使真空罐内真空度始终保持在上、下限值之间。

爪式泵的特点

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点：

1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；

2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）；

3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；

4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除；

5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀，

电气监控及报警装置；

6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑；

7）第二、三、四级均有净化气体入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分

别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量；

8）入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系

统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流；

9）电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。

当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以

满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制

马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的

阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段

涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化

1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。