工作原理  首先设定真空系统的上下限值（比如上限值设定为-0.08MPa，下限值设定为-0.06MPa），启动系统后，其中一台真空泵开始工作，直到真空罐内真空度达到上限值-0.08MPa，此时真空泵自动停止运行，真空罐内真空由自动逆止阀自动截止，如因工作需求真空罐内真空度降至低于下限值-0.06MPa时，另一台真空泵自动启动，直到真空罐内真空度抽到上限值-0.08MPa为止。如此循环反复自行运动，使真空罐内真空度始终保持在上、下限值之间。

扩散泵油的特性及返油

对扩散泵油的要求

扩散泵油的性质对扩散泵的抽气性能影响特别大，因而对扩散泵油的基本要求是：

1）泵油的分子量要大；

2）为了降低泵的极限压力，要求泵油在常温下得饱和蒸汽压要低；

3）为了使泵能在较高的出口压力下工作，要求泵油在沸腾温度下得饱和蒸汽压应尽可能大；

4）泵油的热稳定性（高温下不易分解）和抗氧化性能（与大气接触时不会因氧化改变泵油的性能）要好；凝固点和低温黏度要低；

而且还要、耐腐蚀、成本低。

泵油对极限压力的影响

泵油的种类和成分对泵的极限压力影响很大，在结构相同的扩散泵中，如果使用3号扩散泵油，其极限压力只能达到10-5帕；而改用

275号硅油，其极限压力能达到10-7帕，极限压力可降低两个数量级。

真空系统中被抽气体的分压力也随泵油的不同而变化，这就是泵油成分所带来的影响。例如，油扩散泵抽气系统中不加特殊措施很

难获得较清洁的真空。

泵油的饱和蒸气压

为了获取高真空，希望泵油在常温下有较低的饱和蒸气压。同时又要求泵在较高的出口压力下工作，希望泵油在锅炉温度下有较高

的饱和蒸气压。因此，最适合扩散泵工作的泵油其饱和蒸气压随温度变化的关系曲线的斜度要大。

概述  ZF系列真空负压站（真空发生装置）是以一台或两台真空泵作为真空获得设备，以真空罐作为真空存储设备的成套系统。对于频繁使用真空源而所需抽气量不太大的场合下，该系统比直接使用真空泵大大节约了能源，并有效提高了真空泵的使用寿命。该设备可以为国内各类大中型医院提供医用气体中心站的真空源，并广泛应用于化工、医药行业的真空站，轻工行业的装罐系统，汽车行业橡塑工程零件的负压成型，煤炭矿山用的阻燃输送带和铸造行业（V法、VHR、V-EPC）的真空源等。