爪式泵的特点

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下一些特点：

1）泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生；

2）抽气原件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）；

3）与被抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损；

4）在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除；

5）该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防反流的阀门，出口处有截流阀，

电气监控及报警装置；

6）齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内的轴承用PFPE油脂润滑；

7）第二、三、四级均有净化气体入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分

别调节，相互都是独立的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量；

8）入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系

统有可靠的保护，杜绝了向真空室的返流；

9）电气监控与操作，主要有电源，远距离操作和开关阀等的控制。

当泵出现故障时泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以

满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通与断开及马达超负荷的保护。操作过程有显示器，有按钮控制，可控制

马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主阀，净化气体向轴封处通气用的

阀门等。故障的监控报警或停车，系统安全自动控制，也可按钮控制。启动时，打开净化气体，泵正常运行3min，净化气体向各段

涌入，通净化气体对泵性能有些影响。每当遇到紧急情况可按自动停车键，净化气体继续接通，关闭入口防返流阀，各级泵净化

1min，净化结束，马达再停车，关闭惰性气体截止阀。

选择水环式真空泵的注意事项

一、水环式真空泵类型的确定

水环式真空泵的类型主要由所抽介质、工作所需的气量、真空度或排气压力而定。

水环式真空泵正常工作以后需要注意的有两点：

1、尽可能要求所选真空泵的真空度要求在高效区间内，也就是在临界所需真空度或临界所需排气压力的区域内运行，这样才能保证真空泵能够按照需要的条件和要求正常工作。 应避免在真空泵真空度或排气压力范围附近运行。在这个区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，容易使真空泵产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显现象是真空泵内有噪音和振动。过大的汽蚀会导致泵体、叶轮等零部件的损坏，以致于真空泵无法正常工作。

由此可以看出，当真空泵所需的真空度或气体压力不高时，可以优先在单级泵中选取。如果对真空度或排气压力要求较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用罗茨水环真空机组作为抽真空装置。

2、根据系统所需要的抽气量正确选择真空泵

　　如果选定了真空泵或者真空机组的类型之后，还需要要根据系统所需的抽气量来选用正确的型号（关于真空设备的抽气速率选择与抽气时间的计算可以参考我们公司的单个产品介绍）。

干式螺杆真空泵，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合，极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品，未来具有极大的市场前景。