在高真空环境中，都存在有一定的残余气体。由于水分子量比氧气，氮气等空气主要成分的分子量都小，因此，无论是油扩散泵还是分子泵，都无法迅速，有效地将其抽出，故而越积越多，最后成为占残余气体65%~95%以上的剩余气体；同时，由于真空泵在使用过程中不可避免的会产生泵油蒸发现象，会有少量油蒸汽进入真空系统。

一  由于水蒸气和油蒸汽的存在，导致真空系统无法迅速达到客户使用所需的真空度，导致抽真空时间变长，生产效率下降，所需真空度越高，环境湿度越大，影响越明显。

二  同时，水蒸气，油蒸汽的存在，会导致膜层牢固度下降，无法多层镀膜，颜色不均一等。

三  水蒸气在某些条件下还会电离，产生氧气，使靶材氧化，导致镀膜颜色发生变化。环境湿度越大，温度越高，所需真空度越高，影响越大。

因此，水蒸气，油蒸汽是真空镀膜领域及高真空获得领域的主要危害气体。

低温捕集泵与真空泵抽除气体不同，他是将一个能达到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空箱体内或油扩散泵泵口，利用Meissner原理，使水蒸汽，油蒸汽快速凝结在制冷盘管表面，以达到快速抽真空，提高生产效率，提高镀膜质量的目的。因此，低温捕集泵与真空泵配合使用，较之单独使用真空泵会大幅提高生产效率，提高产品质量。快速吸附真空系统中的水蒸汽，油蒸汽，有效缩短抽真空时间30%~90%，提高镀膜质量，彻底解决膜层颜色不均，容易脱落现象。