干式机械泵的工作原理简介

干式机械泵是指泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，泵腔内无油或其他工作介质，而且泵的极限压力与油封式真空泵同等量级或者接近的机械真空泵。  

目前，真空行业使用的大多数机械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流体充当泵的工作介质，在泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。

沈阳诺思真空技术有限公司（原沈阳天成真空技术有限责任公司）成立于2012年，是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。

针对真空设备制造企业来说，特别要提高员工的主人翁意识，发挥员工的创造性，共同参与，排除生产现场的不合理问题，改善生产现场的环境。有了良好的生产现场环境做保障，企业的产品质量能得到进一步提升，赢得客户的信赖。

干式机械真空泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：     

低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

在化学工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止造成污染，适合用干式真空泵；

用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。