真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
、水环式真空泵工作过程中水环式真空泵需要外接冷却水，工作介质传递能量的过程是：在吸气过程中，工作介质在叶轮的推动下增加运动速度（因而也从叶轮那里获得动能），并从叶轮中流出，同时从吸气口吸人气体；在压缩过程中，工作介质速度下降，同时返回叶轮，压力上升，气体被压缩。可见在水环式真空泵的整个工作过程中，工作介质起着接受来自叶轮的机械能，并将其转换为自身的液体动能，然后液体动能再转换为液体的压力能，并对气体进行压缩做功，从而最终将液体能转换为气体的能量。
由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。