往复式真空泵（简称往复泵）又名活塞式真空泵，属于低真空获得设备之一。它与旋片式真空泵相比较，它能被制成大抽速的泵；与水环式真空泵相比，效率稍高。这类泵的主要缺点是结构复杂，体积较大，运转时振动较大等。其在很多场合可由液环式真空泵所取代往复泵的结构和工作原理如图所示，主要部件有气缸1及在其中做往复直线运动的活塞2，活塞的驱动是用曲柄连杆机构3（包括十字头）来完成的。除上述主要部件外还有排气阀4和吸气阀5等重要部件，以及机座、曲轴箱、动密封和静密封等辅助部件。

运转时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的作用，使气缸内的活塞做往复运动。当活塞在气缸内从左端向右端运动时，由于气缸的左腔体积不断增大，气缸内气体的密度减小，而形成抽气过程，此时被抽容器中的气体经过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞达到最右位置时，气缸左腔内就完全充满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此时吸气阀5关闭。气缸内的气体随站活塞从右向左运动而逐渐被压缩，当气缸内气体的压力达到或稍大于一个大气压时，排气阀4被打开，将气体排到大气中，完成一个工作循环。当活塞再左向右运动时，又重复前一循环，如此反复下去，被抽容器内最终达到某一稳定的平衡压力。

为提高抽气效率，一般在气缸的两端均设有吸气阀和排气阀，然后用管路将气缸两端的吸气口和排气口并联起来

        如罗茨泵（机械增压泵）机组经作业一段时间后，罗茨泵内发作反常杂音，则可能有以下缘由：       1、罗茨泵的发动压力太高，形成泵的机件过热而受损（有些机械增压泵经特别规划后，也能够在大气压下发动）。

      2、在生产工艺中发作的较大的磨耗性粒子进入罗茨泵内部形成机件磨损。

      3、泵的安放方位不对，例如：歪斜置放。泵内的润滑油的油量不适合。

      以上各缘由均会导致罗茨泵的机件（转子、定子、轴承与齿轮等）精密度变差或受严重污染，从而使罗茨泵在作业中发作反常杂音。

      当发现泵在作业中发作反常杂音后，应当即查看泵的发动压力是不是符合规则值，可用电流表查看泵电机的输入电流是不是符合额定值，有无反常的高或低。还应查看泵内润滑油的状况及泵的安放方位是不是适宜。发现问题后，要当即采纳相应的办法处理。

      罗茨真空泵作业时转子与转子，转子与泵体互相不触摸，因而没有直接磨损，但由于空隙很小（通常0.10～0.25 mm），经长时间作业后传动齿轮磨损，当齿侧空隙大于转子间最小空隙时，将发作相碰而发作毛病，此刻则应替换齿轮。通常在作业一年则应进行大修一次，查看齿轮及轴承的磨损状况，查看密封装置，替换密封圈（环），查看转子腐蚀状况，转子结垢状况，泵体内外表腐蚀状况和结垢状况。清洁丈量磨损超出规则尺度时，应调整空隙或替换零件。