受市场和环境需求的影响,真空泵市场表现不同:液环真空泵,尽管有广泛的应用,受环境保护要求的限制,市场份额逐渐萎缩;与之相反,干式真空泵近年来涌进市场,并表现出良好的性能。目前高端市场的真空泵主要以欧洲、美国和日本公司的产品为主。 分子泵也广泛应用于核物理、电真空和表面科学等领域,由于半导体行业发展迅速,真空泵的市场拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷伦),德国普发,欧瑞康莱宝, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是国产仪器厂商,如北京北仪创新真空技术有限责任公司,成都南光机器有限公司,中科院沈阳科学仪器等企业。但是,无论是在技术还是在市场发展上,国外的仪器产品都远远超过国内仪器产品。

了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
真空泵的价格、运转及维修费用。

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的真空泵不能在大气压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。

