闭路循环气氦制冷机低温泵：它是70年代出现的新型低温泵。这种泵不消耗氦气、操作简便，易于维修，应用日渐广泛。制冷机的制冷介质为气氦，一级冷板温度为50～100K，用来冷凝水蒸汽和预冷其他气体;二级冷板温度为10～20K，用来冷凝氮、氧和氩等气体。在二级冷板的内表面涂以活性炭。活性炭的比表面积为500～2500米2／克，在低温下对氦、氖和氢有很强的吸附能力。冷板由无氧铜制成，表面抛光达到镜面程度，以减小辐射系数。

针对工时利用率偏低的现状，真空设备制造企业应认真研究企业现行的生产组织方式，研究是否可以将顺序生产与交叉生产的方式进行有机地结合，最终形成最适合本企业实际情况且富有效率的生产组织方式。同时，要认真研判员工的工时利用率问题，找出可改善的节点，改善人浮于事的状况，科学地减少现场作业人员的等待时间，采取激励措施提高员工的操作水平，合理地加快生产节奏。这样不但可以提高企业的整体劳动生产效率，增强员工劳动中的质量意识与责任意识，也可以让因为生产现场中人员的闲置所造成的一系列管理难题得到针对性的解决。

油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。