罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。

　　罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

超声波清洗

超声波清洗的原理是利用它所造成介质的“空隙现象”，即超声波的振动引起清洗介质疏密变化而达到清洗目的。振动使介质时而稀疏，时而闭合，稀疏时形成瞬时的空隙；闭合时产生瞬时冲击力可达到几个大气压，这个强大的冲击能破坏物体表面的油膜，使之和污染物一起脱离物体表面被冲落到溶液中。

超声波清洗可以去掉零件上孔内部的污染物，这是一般清洗方法所无法实现的，超声波清洗的溶液可以用水和其它溶剂，若用三氯乙烯会有更好的去油效果，常用工作频率为4～10MHz。

设备的润滑

设备润滑的“五定管理”和“三过滤”是把日常润滑技术管理工作规范化、制度化，是保证搞好润滑工作的有效方法。设备润滑工作与设备的其他维护保养工作一起做。

1、润滑的“五定管理”

1)定点。根据润滑图表上的部位、润滑点、检查点(油标窥视孔)，进行加油、添油、换油、检查液面高度及供油情况。

2)定质。确定润滑部位所需油料的品种、牌号及质量要求，所加油质必须经化验合格。采用代用材料或掺配代用时，要有科学根据。润滑装置、器具完整清洁，防止污染油料。

3)定量。按规定的数量对各润滑部位进行日常润滑，实行耗油定额管理，要搞好添油、加油和油箱的清洗换油。

4)定期。按润滑卡片上规定的间隔时间进行加油，并按规定的间隔时间进行抽样化验。

5)定人。按图表上的规定分工，分别由操作工、维修工和润滑工负责加油、添油、清洗换油，并规定负责抽样送检的人员。

设备部门应编制润滑“五定管理”规范表，具体规定哪台设备、哪个部位、用什么油、加油(换油)周期多长、用什么加油装置、由谁负责等。

2、润滑油的“三过滤”

为了切实保证润滑油的清洁，对润滑油要进行必要的三级过滤，如下:

1)人库过滤。油液人油罐贮存时要过滤。

2)发放过滤。油液发放注人润滑容器时要过滤。

3)加油过滤。油液加人设备贮油部位时要过滤。

3、治理漏油的十种方法

1)勤：勤查、勤问、勤治。

2)找：仔细寻找漏油部位和原因。

3)改：更改不合理的结构和装置。

4)换：及时更换失效的密封件和其他润滑元件。

5)缠：在油管接头处缠密封带、密封线等。

6)回：增加或者扩大回油孔，使回油畅通，不致外溢。

7)配：对密封圈及槽沟结合面做到正确选配。

8)引：在外溢、外漏处加装引油管、断油管、挡油板等。

9)垫：在结合面加专用纸垫或涂密封胶，做好密封工作。