光学元件原子级抛光镀膜设备概述：NANO-MASTER 离子束清洗抛光-磁控溅射镀膜系统提供最先进的技术，在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光，然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆，整个过程不间断真空。系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用，同时具备各自的自动上/下载片功能。
    光学元件原子级抛光镀膜设备应用
    Optical Coatings 光学涂层
    Sputtering  溅射
    IBAD  IBAD离子束辅助沉积
    Ion Beam Etching Cleaning  离子束刻蚀清洗
    Ion Beam Assisted Reactive Etching 离子束辅助反应刻蚀
    Infrared Coatings  红外涂层
    Surface Treatment   表面处理 
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