里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300/VCA25/VCA40/VCE25/VCE40/VGD10/VGD15/VTN10/VTN15/VTN25/VTN40/DLT10/DLT15/DLT25/DLT40/DTA50/DTA60/DTA80/DTA100/DTA140/KLT/15/KLT25/KLT40  

里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303

里其乐真空泵油：MULTI-LUBE 100

溅射离子泵通常与钛升华泵联合使用。溅射离子泵的残气中主要成分是氢，而钛升华泵抽氢效果好。

一般中小型真空系统以溅射离子泵作主泵，而大型系统以钛升华泵作主泵，用这种机组可得到10-9Pa的

真空度。

在超高真空系统中，要求溅射离子泵要彻底烘烤。如果真空室已进行了高温烘烤，那么泵只需要250℃烘

烤，真空度到10-5Pa后，缓慢升到250℃，时间为10~20h。

里其乐Rietschle真空泵：VC50/VC75/VC100/VC150/VC202/VC303/VC400/VC500/VC700/VC900/VC1100/VC1300

里其乐真空泵油：MULTI-LUBE 46

蒸汽喷射泵-水环泵串联真空机组其他优点如下：

1，地位安装，不需要大气腿；

2，使用于系统体积大，要求抽空时间短的场合；

3，启动迅速，无需启动泵；

4，可用于工作蒸汽含水率较高的场合；

5，可用于工作蒸汽压力不稳定或低于0.4MPa.A的场合。