三次元结构特点：
1.三坐标测量机采用全花岗岩结构、有限元分析、固定龙门式设计从而使测量机整体保持了高稳定性与高可靠性。
2.三坐标测量机采用全花岗岩横梁、整体基座、立柱工作台、Z轴形成整机全封闭框架结构，具有高稳定性、不易变形、热稳定性高等特点。
3.三坐标测量机三轴均采用先进的柔性钢丝同步齿型带传动，整机运动无任何噪音、定位快速准确、不打滑、长寿命。
4.Y轴采用高精度整体双燕尾导轨、三轴均为中心驱动、高分辨率光栅尺中心安装使各轴运动的俯仰、偏摆得到最大限度抑制，且产生最小的阿贝误差。采用世界名牌大功率电机及伺服驱动器，大大改善运动控制特性，测量机加速、制动、运行更快速平稳。
5.Z轴应用采取获得专利的气动平衡技术，采用柔性悬挂系统，避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题，提高了测量机的精度和长期稳定性。
三次元技术参数：
型号    MST-L1200      MST-L1500      MST-L1800      MST-L2000  
测量范围(mm)    X    1000    1200    1500    1800
    Y    1200    1500    1800    2000
    Z    200
技术指标Technical  Features
影像摄取系统    SONY  1/2"  High-resolution  black  &  white  CCD  camera  
分辨率    0.1um
重复精度    X/Y/Z=2.5um
测量精度    U1  x  /  y  =  (4.0+L/250)um
    U1  z  =  (4.0+L/250)um
    U2  x  /  y  =  (6.0+L/250)um
光源照明系统    同轴光（黄色LED）  轮廓光（黄色LED)  环光（黄色7向14位）  
雷射激光系统    Keyence  LKG30  光点理论直径：30um  工作范围：+-4.5um  参照距离：30mm  光波长度：650nm
CCD两种对焦模式    快速对焦（约1.5秒）&  高精度对焦  
雷射对焦    单点对焦/扫描对焦
缩放倍率    1X物镜    25X  50X  100X  (分辨率：1280X1024  17")  
    2X物镜    50X  100X  200X  (分辨率：1280X1024  17")  
焦距/工作范围    1X物镜    92mm/80~93mm
    2X物镜    36mm/34~37mm
机器特征Machine  Features
机器型式    花岗岩床台固定桥式
机器重量（净重/毛重）    3800kg/4000kg    4150kg/4400kg    4500kg/4800kg    4850kg/5200kg
最大载荷    40kg
最高运行速度    X、Y=350mm/s    Z=200mm/s
最高加速度    1000mm/s2
系统特征System  Features
控制系统    全自动CNC控制系统
驱动系统    四轴程控：三轴交流伺服马达全闭回路控制，高精密级线性滑轨与预压滚珠螺杆驱动，步进马达Zoom同轴控制镜头组
软件配置    标准    Smart  Inspector  Pro3.0
    选配    制程统计管制SPC模块（网络版）；QV、VMS程序转换系统PowerMetrix离线版；3D型状误差动态分析软件；CAD整合型报表；精密测量操作系统等
    操作系统    WINOOWs  7  
外部工作环境Operating  Environment
电源    220V  50～60HZ  >10A  
功率    2.0KW
温度范围    20℃±2℃    1℃/1h    2℃/24h    1℃/m
湿度范围    40%~70%
电脑配置    可选（实际出货以报价单为准）