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◆真空环境：1.0*10-5Pa
◆采用磁控等离子体化学气相沉积各种薄膜
◆磁控电容耦合式，电磁场可调（0-300Gauss）
◆真空室（320mm）上盖为自动翻开式：温度：27-700C阴极：5“水冷，间距可调；阳极：5”，室温-700C可调
◆机械泵：8升/分钟
◆分子泵：600升/秒
◆手动/技算机控制
