一、纯水水质标准与分类

1. 常见水质等级
   • 纯水：电导率≤10μS/cm，适用于一般工业清洗。
   • 高纯水：电导率≤0.1μS/cm，满足精密电子行业需求。
   • 超纯水：电导率≤0.055μS/cm（理论纯水值），用于半导体晶圆制造。
2. 行业标准
   • 中国：GB/T 11446.1-2013《电子级水》分为 EW-Ⅰ 至 EW-Ⅳ 级。
   • 国际：ASTM D1193（美国）、ISO 3696（实验室用水）等。

二、纯水设备核心技术与工艺

1. 预处理阶段

• 多介质过滤器
  • 去除悬浮物、胶体（浊度≤5NTU），填料为石英砂、无烟煤。
• 活性炭过滤器
  • 吸附余氯、有机物，保护后续 RO 膜（余氯残留≤0.1mg/L）。
• 软化器
  • 离子交换树脂去除钙镁离子（硬度≤1ppm），防止 RO 膜结垢。

2. 深度处理阶段

• 反渗透（RO）系统
  • 脱盐率：≥97%，去除无机盐、有机物、微生物。
  • 膜类型：苦咸水膜（产水 TDS≤100ppm）或海水膜（脱盐率 99.7%）。
• 离子交换（IX）
  • 混床树脂：阴阳树脂混合填充，产水电阻率≥10MΩ?cm。
  • 连续电除盐（EDI）
    • 无需化学再生，产水电阻率≥15MΩ?cm，适用于超纯水。

3. 后处理阶段

• 紫外线（UV）杀菌：破坏微生物 DNA，降低 TOC（总有机碳）。
• 超滤（UF）：截留细菌、热源（产水颗粒数≤1 个 /mL）。
• 抛光混床：进一步提升水质至超纯水级别（电阻率≥18MΩ?cm）。