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传统的超纯水制备方法主要有蒸馏法和离子交换法。蒸馏设备要求严格，产量低，能耗高。离子交换法中，失效的离子交换树脂需要再生，工作强度大。随着工业的不断发展，对超纯水的质量要求越来越高，这些传统方法不适合生产高纯度的超纯水。超纯水设备具有抗污染能力强、节能环保、产水水质稳定、脱盐率高、系统内无死水等优势，出水水质符合美国ASTMD5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2，高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。