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       超纯水设备采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度。超纯水系统设备的脱盐核心部件为反渗透膜组件、EDI系统和抛光混床，超纯水系统设备通常由预处理部分，反渗透主机部分，后处理部分共同组成。

       传统的超纯水制备方法主要有蒸馏法和离子交换法。蒸馏设备要求严格，产量低，能耗高。离子交换法中，失效的离子交换树脂需要再生，工作强度大。随着工业的不断发展，对超纯水的质量要求越来越高，这些传统方法不适合生产高纯度的超纯水。