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半导体超纯水设备 沈阳超纯水处理设备 EDI超纯水技术

在半导体生产中，超纯水被用于晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境的加湿源等许多场合，超纯水的品质与半导体的良品率直接相关。随着半导体元器件尺寸缩小与精细度上升，超纯水水质的技术要求不断提升，在超纯水的生产过程中，只要微粒子、电阻率、TOC以及气泡中一个指标出现略微差异，就会使半导体元器件生产的合格率下降。

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传统的超纯水处理工艺为单级/双级反渗透设备+混床。其缺点是需要再生，不能连续产水，不仅效率低，而且浪费资源。莱特莱德经过多年实践，同时结合膜分离技术，采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合的工艺来制取超纯水，该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期大大延长)，运行可靠。莱特莱德超纯水设备出水水质符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2，高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。