光氧等离子一体机的主要工作原理是当废气进入等内时，先经等离子光氧一体机过等离子体化学反应过程，即电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。（在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子全物质，或使有毒有害物质转变成低毒低害的物质，从而使污染物得以分解工业生产过程中产生的工业废气，有些废气不仅具有严重的臭气异味而且还具有一些油烟。处理这种工业废气经常会用到低温等离子这两种设备和光氧设备。于是等离子光氧组合而成的废气处理设备应运而生。这种成套的废气处理环保设备综合采用了低温等离子和光氧设备的结合，具有高度的性价比