目前,光氧设备主要是光氧设备和等离子设备的结合体，而在等离子设备的使用方面是低温等离子体技术已经成功应用于烟气脱硫、脱氮、温室气体处理有机废气的降解。而低温等离子体和光催化的结合不但解决了光催化技术的一些难点,并且还使低温等离子体技术得到了优化。其操作条件更加温和,能耗进一步降低,过程中的副产物也得到了抑制。而光氧设备的主要的工作原理:通过破坏、分解、催化氧化把污染气体分解为无毒无害无味气体。采用高能C波段光线强裂污染气体分子链，改变物质分子结构，将高分子污染物质裂解、氧化成为低分子无害物质，如水和二氧化碳等。