催化燃烧设备是一种类似热氧化的方式来处理VOC的,它净化有机物是用铂、钯等贵金属催化剂及过渡金属氧化物催化剂来代替火焰，操作温度较热氧化低一半，通常为250℃～500℃。由于温度降低，允许使用标准材料来代替昂贵的特殊材料，大大地降低设备费用和操作费用。与热氧化相似，系统仍可分为间壁式催化燃烧和rco催化燃烧设备两类热量回收方式。
    蓄热式催化燃烧设备也叫RCO催化燃烧设备，它是一种新的催化技术。它具有RTO有效回收能量的特点和催化反应的低温操作及能量有效性的优点,，将催化剂置于蓄热材料的顶部，来使净化达到很高。RCO系统性能的关键是使用专用的催化剂，浸渍在鞍状或是蜂窝状陶瓷上的贵金属或过渡金属催化剂，允许氧化发生在RTO系统温度的一半，既降低了燃料消耗，又降低了设备造价。有的地方已经开始使用RCO技术进行有机废气的消除处理，很多RTO设备已开始转变成RCO，这样可以削减操作费用达33%～75%,并增加排放气流量达20%～40%。
    催化燃烧设备的rco技术是将低温催化氧化与蓄热技术相结合的一种有机废气处理设备。该设备是在RTO技术基础上发展起来的一种新型挥发性有机物处理设备，它吸取了RTO能够充分蓄热回收热能的优点，在催化氧化过程中，催化剂表面的作用使反应物分子富集于催化剂表面，催化剂降低反应所需活化能，加快了氧化反应的进行，提高了氧化反应的速率。在特定催化剂的作用下，有机物在较低的温度下(250℃～300℃)发生氧化分解，生成CO2和H2O，并放出大量热能。