在化学反应过程中，利用催化剂降低燃烧温度，加速有毒有害气体完全氧化的方法，叫做催化燃烧法。
催化燃烧过程是在催化燃烧装置中进行的。有机废气先通过热交换器预热到200～400℃，再进入燃烧室，通过催化剂床时，氧和有机气体被吸附在多孔材料表层的催化剂上，增加了氧和有机气体接触碰撞的机会，提高了活性，使有机气体与氧产生剧烈的化学反应而生成CO2和H2O，同时产生热量，从而使得有机气体变成无毒无害气体。将浓缩的有机废气引入主要设备，有机废气经内装加热装置从活性炭层中将有机物分离后，通过催化剂的作用分解成水和二氧化碳，同时释放能量，由热交换装置置换能量，用于维护设备自燃的能源。
催化燃烧装置主要由热交换器、燃烧室、催化反应器、热回收系统和净化烟气的排放烟囱等部分组成，如右图所示。其净化原理是：未净化气体在进入燃烧室以前，先经过热交换器被预热后送至燃烧室，在燃烧室内达到所要求的反应温度，氧化反应在催化反应器中进行，净化后烟气经热交换器释放出部分热量，再由烟囱排入大气。
假设净化装置处理风量为2000m3/h，装机功率60kw，电加热工作时间约半小时，当催化床温度达到250～300℃时，催化燃烧床开始反应，利用废气反应产生的热空气循环使用，此时电加热停止，不需要外加热，单床脱附，脱附时间为3~4小时，设定时间活性炭吸附箱定时自动切换脱附，内部装填的陶瓷蜂窝体贵金属催化剂使用寿命为10000小时。整个脱附系统采用多点温度控制，保证脱附效果的稳定。
催化剂采用堇青石蜂窝陶瓷体作为第一载体，γ-Al2O3为第二载体，以贵金属Pd、Pt等为主要活性组分，贵金属铂和钯,具有高活性、高净化效率、耐高温及长使用寿命。
炉体一般用钢结构的外壳内衬耐火材料，或用双层夹墙结构，使通过催化剂表面的气流和温度分布均匀，并保证火焰不直接接触催化剂表面，燃烧室必需具有足够的长度和空间，具有良好的保温效果，气流和温度均匀分布，催化剂反应器设计成装卸方便的模屉结构，便于清洗和更换催化剂载体。
催化燃烧设备主要是利用焚烧炉在催化剂的作用下将有机废气进行燃烧或氧化转化为水和CO2， 从而达到废气处理的效果。RCO催化燃烧设备由于有催化剂的作用起燃温度低，节省废气处理燃烧成本，安全性更高，是一种较为理想的通过触媒催化反应（无明火）处理有机污染物的方法。RCO催化燃烧设备具有适用范围广，结构简单，净化效率高，节能、无二次污染等优点，已在国内外得到了广泛应用。