臭氧不稳固，很容易产生简略的氧化反应失去一个氧原子，这种反应中3个氧原子都要被用到。在无机反应中，只要一个臭氧分子的原子进行氧化过程，另两个作为一个氧气释放出来。

臭氧可以当即和不饱和无机化合物反应。三个氧原子全部加成到双键或三键上。此外，臭氧可作为一种强效的杀菌剂(杀灭细菌的药剂)，损坏分子细胞壁使细菌，病毒，真菌等微生物失活。

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