半导体车间净化

       半导体特性决定其制造过程必须有洁净度要求，环境中杂质对半导体的特性有着改变或破坏其性能的作用，所以在半导体器件生产过程中对什么都必须严格控制，杂质各式各样，如金属离子会破坏半导体器件的导电性能，灰尘粒子破坏半导体器件的表面结构等。

       半导体器件生产环境要求很严，除了要求恒温恒湿外，对生产环境洁净度要求很严，按单位体积重规定的尘埃粒子数标准分成洁净度的等级。一般分为：10级、100级、1000级、10000级、100000级，国际标准IOS14644-1、国标GB50073-2013、美联邦标准中均有规定洁净室和洁净区内空气以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。

       电子产品性能、质量的提高和生产过程的微细化，日益要求生产环境具有一定的空气洁净

该项目的洁净室在水平方向上采用了港湾式的布置方式。这种布置方式的优点是将工艺设备分为前、后区，前区为人员操作区(硅片暴露区)，后区为工艺设备接管区，前后区洁净度区分明显，真正影响产品质量的是前区。将前后区区分开后，洁净度要求高的区域的面积也会减少，以减少整个系统的循环风量，降低能耗及工程造价。根据ISO标准，该洁净室生产前区的洁净度等级为2.5级和3.5级，温度要求为±221℃，相对湿度要求为45%±5%;该洁净室生产后区的洁净度等级为6级和7级，温度要求为±223℃，相对湿度要求为30%-60%。

  该项目的洁净室在垂直方向采用三层结构的布置方式(如图)，这也是大规模集成电路厂房常用的形式，即上层为洁净室的送风静压层，中间为洁净生产区，下层为回风层及支持区。

  在工程上，人们利用室内空气的循环来保持生产区域内的洁净等级。空气在严格控制温度、湿度的前提下，经过过滤器之后进入洁净室内，而室内的空气则经回风系统“离开”洁净室，再经过滤器之后重新进入洁净室。与此同时，由于洁净室内必然会有风量损失，因此也需要补充一部分室外新风。