简要描述:722A12TCD2FAMKS真空计压力计722A12TCD2FA深圳市天铉真空技术有限公司美国MKS真空计(VacuumGauge),c真空表,是测量真空度或气压的仪器
按照美国MKS真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的美国MKS真空计分为三大类,分别是利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的美国MKS真空计。
美国MKS流量计型号及功能原理介绍,美国MKS流量计利用力学性能的美国MKS真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体动力学效应的典型美国MKS真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和热电偶规;利用带电粒子效应的典型美国MKS真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。
美国MKS流量计在不同压力下金属膜片受力不同会有不同尺度的变形,使得金属膜片和电极之间的电容变化,通过测量电容的变化量,即可知道金属膜片上气压的变化。
这种规的测量范围一般横跨4个量级,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。
这种规的优点是灵敏度很高。缺点是必须在高于环境温度的恒温条件下使用,以消除温度不同对膜片力学性能的影响,使用前一般需要预热数小时。
也叫做热电阻美国MKS真空计,它是利用电阻与温度之间关系的原理工作的。
美国MKS流量计由于不同气压下气体分子热传导能力不同,当给热丝加恒定的电流时,由于气压不同通过气体传导走的热量不同,热丝所保持的温度就不同,这导致热丝电阻大小不同,通过测量热丝电阻大小就可以推算气压大小。
如果配合电桥测量热丝电阻的变化,将有效提高测量的准确度。
这种规的测量范围一般在0.1Pa至1000Pa。
由于不同气体在相同气压时导热性不同,所以这种规需要在不同的使用气体下标定。
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2022
MKS真空计
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